Сообщение 17. Автоматизация "мокрого" химического анализа при экспрессном контроле состава полупроводников методами план-факторного анализа

[А.В. Федин.-- Химическая промышленность.- ISSN 0023-110X.-- 1993.--№1-2.-- С.72-77 ]